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KAUST公司开发压力传感器，在真空环境中具有潜在的应用前景

据外媒报道，近日，KAUST公司的科学家开发了一种微米级、从遍及欧洲大陆和英国的仓库为客户供货低功耗的压力传感器，在真空环境中具有潜在的应用前景。

据外媒报道，近日，KAUST公司的科学家开发了一种微米级、低功耗的压力传感器，在真空环境中具有潜在的应用前景。

该小组设计的压力传感器工作范围广、灵敏度高。

当今，传感器是计算机、机器人等自动化系统与其环境之间的接口。传感器测量光、温度、运动、质量、压力、位置等，目前市场与应用对传感器的需求是希望他们更小，以便能够将他们集成到便携式产品中。例如，压力传感器可用于工业控制、医疗保健、医疗测试和气象学，根据不同的应用，这些压力传感器需要对微小的变化敏感，对这些变化反应迅速，并能在较大的压力范围内工作。

现在，Nouha Alcheikh、Amal Hajjaj和Mohammad Younis开发出一种灵敏的压力微传感器，该传感器基于硅振动梁，硅振动梁只有800微米长、25微米宽和1.5微米厚。Alcheikh表明：“我们已经开发出一材料环保无毒无气味种可扩展且灵敏的微压力传感器，它可以在纳米系统中的更大压力范围内工作。”

在实验研究中，悬梁将以共振频率振动，共振频率由其质量、长度、密度和刚度决定。当电流通过振动梁时，它会变得更热并开始弯曲。这种增加的曲率增加了振动梁的刚度，从而移动了共振频率。振动梁周围的空气使其冷却：压力越高，空气越多，冷却效果越好。因此，可以电测量的振动梁的共振频率与压力有关。该小组制造的装置在广泛的压力范围内工作，从0.038托到200托(大气压是760托)，压力传感器的灵敏度为2689 x /Torr。

研究小组还表明，这种压力微传感器可以通过改变振动梁的厚度来适应特定的应用。他们模拟了振动梁的运行，以证明对于较薄的微振动梁，灵敏度变得更高滑雪镜，但较厚的振动梁消耗更多的能量。因此，可以根据装置的目标环境，计算出在低压或高压下的灵敏度的宜宾厚度。

Alcheikh说：“得自动喷枪益于KAUST先进的设施，我们很幸运能够探索出一些新的想法，比如这种新颖的压力传感器。我希望继续利用这一机会，将这一设备概念推向商业化。”

文章链接：仪表